在半導(dǎo)體先進(jìn)制程中，超高純度液體化學(xué)品及超純水的使用，貫通著從晶圓清洗到刻蝕沉積的每一道濕制程。這代表著超高純度液體化學(xué)品及超純水的純度，與晶圓與芯片的良率緊緊相關(guān)。而SEMI F57，正是守護(hù)這些 “工業(yè)血液" 從儲罐到機(jī)臺全程潔凈的重要標(biāo)準(zhǔn)，是先進(jìn)制程量產(chǎn)階段關(guān)鍵合規(guī)參考依據(jù)。

1、行業(yè)背景：先進(jìn)制程發(fā)展追求更高潔凈度

伴隨著先進(jìn)制程的不斷發(fā)展，制程節(jié)點從28nm一路升級到14nm、7nm，芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)越來越小巧精密，對潔凈度的要求也更加苛刻。僅對液體化學(xué)品本身的純度進(jìn)行管控，已不足以滿足目前的潔凈度管控需求，故而現(xiàn)在更多的廠家和工程師開始關(guān)注輸送管道、閥門、過濾器等運輸過程中的“隱形污染源"。

在沒有行業(yè)統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)的過去，配件品質(zhì)參差不齊，雜質(zhì)析出問題頻發(fā)，為了解決這一行業(yè)痛點，國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會制定出臺SEMI F57行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，統(tǒng)一規(guī)范藥液輸送所用管材、配件的材質(zhì)等級與潔凈要求，成為半導(dǎo)體行業(yè)通用的潔凈生產(chǎn)硬性依據(jù)。

2、測試對象

SEMI F57的測試對象聚焦超高純度（UHP）聚合物材料及核心組件，覆蓋高純液體化學(xué)品與超純水（UPW）輸送全場景，包括：

不同產(chǎn)品對應(yīng)的測試項目可見下表：

3、測試目的

核心目的是驗證聚合物材料及組件在高溫高純流體環(huán)境下的析出安全性，確保輸送過程不向液體化學(xué)品釋放金屬、陰離子、有機(jī)物、顆粒等污染物，最終實現(xiàn)：

4、測試方案

SEMI F57測試方案大致步驟如下：

     ● 樣品準(zhǔn)備：用超純水沖洗去除樣品表面吸附的污染物；

     ● 浸泡提取：用提取液（常規(guī)為超純水）在85℃條件下浸泡7天；

     ● 分析測試：完成提取后，使用IC、ICP-MSMS等儀器，對浸泡液中的污染物濃度進(jìn)行定量分析。

5、限值要求

SEMI F57（現(xiàn)行版 SEMI F57-0622）采用85℃超純水浸泡的加速老化測試，要求極其嚴(yán)苛：